Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜走査型顕微鏡 さまざまな雰囲気下での測定に対応
日経エレクトロニクス 第829号 2002.8.26
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第829号（2002.8.26） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全201字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （77kb） |
| 雑誌掲載位置 | 57ページ目 |
日本電子は，ガス雰囲気や真空，溶液などさまざまな状況下で試料を観察できる走査型プローブ顕微鏡「ＪＳＰＭ−５２００」を発売した。試料の加熱や冷却もできる。半導体の研究開発などに向ける。原子分解能を備える。走査範囲はＸ，Ｙ方向が０〜１０μｍ，Ｚ方向が０〜３μｍ。試料の標準外形寸法は１０×１０×３ｍｍ３。ＴＥＬ（０４２）５４２−２１０６価格は１８５０万円出荷中ｗｗｗ．ｊｅｏｌ．ｃｏ．ｊｐ資料請求番号Ｎ３…
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