Ｓｅｌｅｃｔｅｄ Ｓｈｏｒｔｓ〜原子の世界をのぞけます
日経エレクトロニクス 第829号 2002.8.26
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第829号（2002.8.26） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全310字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （140kb） |
| 雑誌掲載位置 | 44ページ目 |
米ＩＢＭ社と米Ｎｉｏｎ社は，電子ビームの直径を７５×１０−３ｎｍに絞り込む技術を開発した。この直径は水素原子よりも小さい。今回開発した技術を使うことで，これまでは困難だった材料の原子レベルの欠陥を観察する電子顕微鏡を実現できた。収差をリアルタイムで取り除く電磁レンズの制御方式を応用したことで電子ビームの絞り込みが可能になった。Ｓｉ基板上にＳｉＯ２で形成した絶縁膜の欠陥を，Ｓｉ原子とＯ原子の結合状…
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