Ｓｅｌｅｃｔｅｄ　Ｓｈｏｒｔｓ〜「国内はウチだけ」　富士通が０．０９μｍルールのＬＳＩ製造開始
日経エレクトロニクス　第820号　2002.4.22

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第820号（2002.4.22）
ページ数	1ページ　（全395字）
形式	PDFファイル形式　（228kb）
雑誌掲載位置	39ページ目

　富士通は，同社の半導体開発拠点「あきる野テクノロジーセンター」において，設計ルール０．０９μｍのＣＭＯＳ技術を使ったＬＳＩの製造を２００１年１２月に開始したことを明らかにした。同社取締役の小野敏彦氏は「我々の半導体製造技術が世界でも先頭を走っていることは間違いない。少なくとも国内で０．０９μｍ技術の試作量産に成功しているのは当社だけだと自負している」と自信を見せた。同センターは，０．０９μｍルー…