Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜多結晶ＧａＮで単結晶と同等性能を実現 ガラス基板を利用して価格を大幅に低減
日経エレクトロニクス 第814号 2002.1.28
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第814号（2002.1.28） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全814字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （64kb） |
| 雑誌掲載位置 | 48ページ目 |
富士ゼロックスは，多結晶ＧａＮを使う紫外線センサ素子のサンプル出荷を始める。波長が２３０ｎｍ〜４００ｎｍの光源の分析用途などを狙う。 単結晶ＧａＮによる素子と同等の性能を維持しながら価格を大幅に安くできることが特徴である。「単結晶ＧａＮを使ったセンサ素子は０．２５ｎｍ角品が１万円程度，数ｍｍ角品が１０万円程度と高い」（富士ゼロックス）。今回価格を下げられた理由は，サファイア基板に比べて１／１００…
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