Ｗｈａｔ’ｓ Ｎｅｗ〜低コスト露光技術ＬＥＥＰＬ ソニーが２００４年に実用へ
日経エレクトロニクス 第811号 2001.12.17
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第811号（2001.12.17） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全3596字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （231kb） |
| 雑誌掲載位置 | 33〜34ページ目 |
「半導体の微細化が進むにつれ，製造コストが鰻登りに高くなる。従来の発想を一新した露光技術が必要だ」（ソニー 顧問 セミコンダクタネットワークカンパニー ＣＴＯの牧本次生氏）。半導体メーカーが露光装置やマスクの価格高騰に頭を抱えている（図１）。数年後にもＬＳＩの製造コストが高くなり過ぎ，事実上微細化が進まなくなる可能性すらある。大手半導体メーカーが現在量産に使っている０．１８ｎｍや０．１３ｎｍプロ…
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Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜帯域幅は５０ＭＨｚ
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜非接触方式で，計測範囲は１０ｎｍ〜７００ｎｍ
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜ベアチップＩＣやフリップチップＩＣの両方に対応
Ｓｅｌｅｃｔｅｄ Ｓｈｏｒｔｓ〜ＩｎｔｅｌとＡＭＤ，今期の業績見通しを上方修正
Ｓｅｌｅｃｔｅｄ Ｓｈｏｒｔｓ〜携帯電話向け液晶パネル カラーとモノクロの生産金額が拮抗
