Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜非接触方式で，計測範囲は１０ｎｍ〜７００ｎｍ
日経エレクトロニクス 第811号 2001.12.17
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第811号（2001.12.17） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全202字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （155kb） |
| 雑誌掲載位置 | 52ページ目 |
浜松ホトニクスは，非接触でウエハーの厚みを計測する装置「Ｏｐｔｉｃａｌ ＭｉｃｒｏＧａｕｇｅ Ｃ８１２５−０１」を発売した。光の干渉を利用して計測する方式のため，パターン付きウエハーや保護フィルム付きウエハーを傷付けずに計測できる。厚みの計測範囲は１０ｎｍ〜７００ｎｍで，繰り返し再現性は０．５ｎｍである。ＴＥＬ（０５３）４３１−０１２３価格は６００万円出荷中ｗｗｗ．ｈｐｋ．ｃｏ．ｊｐ資料請求番号Ｎ…
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