技術速報〜ＮＥＣと日立製作所，得意技術を持ち寄り０．１３ｎｍの ２５６ＭビットＤＲＡＭを開発，チップ面積は６０ｍｍ２弱
日経エレクトロニクス 第780号 2000.10.9
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第780号（2000.10.9） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全553字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （44kb） |
| 雑誌掲載位置 | 26ページ目 |
エルピーダメモリ（旧ＮＥＣ日立メモリ）は，０．１３ｎｍプロセスで製造する２５６ＭビットのシンクロナスＤＲＡＭ（ＳＤ−ＲＡＭ）／ＤＤＲモード付きＳＤＲＡＭを開発した。日立製作所とＮＥＣがそれぞれ得意な技術を持ち寄ったという。日立はメモリ・セルやビット線／ワード線材料などのデバイス技術を，ＮＥＣは回路技術をおもに提供した。メモリ・セルには，０．１８ｎｍのＤＲＡＭで日立が用いた，Ｔａ２Ｏ５をキャパシタ…
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