技術速報〜米ＢＡＬＬ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｉｎｃ．，ＤＭＤを用いた半導体回路の露光技術を開発　多数の微小ミラーをオン／オフさせてマスク・パターンを表示
日経エレクトロニクス　第759号　1999.12.13

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第759号（1999.12.13）
ページ数	1ページ　（全569字）
形式	PDFファイル形式　（70kb）
雑誌掲載位置	22ページ目

　米ＢＡＬＬ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｉｎｃ．がＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ　Ｄｅｖｉｃｅ）を用いた半導体回路の露光技術を開発した。Ｓｉウエーハ上に回路パターンを露光するために用いているマスクが不要になるため，マスク作製のコストと時間を削減できるという。ＤＭＤは米Ｔｅｘａｓ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　Ｉｎｃ．が開発したデバイスで，Ｓｉ基板上に作り込んだ多数の微少なミラーをそれぞ…