新製品ニュース〜ウエーハに直接形成したバンプ向け外観検査装置，　誤差範囲は高さ±１ｎｍ，直径は±２．５ｎｍ
日経エレクトロニクス　第733号　1999.1.4

　米Ｒｏｂｏｔｉｃ　Ｖｉｓｉｏｎ　Ｓｙｓｔｅｍｓ，Ｉｎｃ．は，ウエーハに直接形成するバンプに向けた外観検査装置「ＷＳ−１０００」を発売した。バンプの高さを±１ｎｍ，直径を±２．５ｎｍの誤差範囲で測定できる。対象物にレーザ光を照射し，その反射光をもとに３次元測定を行なう。さらに，ＣＣＤカメラで撮像した２次元の映像データと組み合わせて精度を高めたという。　たとえば，レーザ光とＣＣＤカメラを組み合わせた…