特集１　ナノテクで突破せよ〜デバイス
日経エコロジー　第39号　2002.9.1

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掲載誌	日経エコロジー　第39号（2002.9.1）
ページ数	1ページ　（全1421字）
形式	PDFファイル形式　（27kb）
雑誌掲載位置	30ページ目

　ＬＳＩ（大規模集積回路）など電子デバイスの微細化・高集積化は、とどまるところを知らないかのようにみえる。ところが、従来の半導体プロセスのような微細加工で、膨大なトランジスタなどを作り込む「トップダウン」と呼ばれる手法は、早ければ５年、遅くとも１０年後には限界に達する。これは、デバイス業界の共通認識となっている。　この限界を打破するために、富士通や日立製作所、ＮＥＣ、米ＩＢＭなど日米のエレクトロニ…