〔図解で見る〕電子デバイスの今／８３　後工程で注目度が高まるデジタルリソグラフィー＝津村明宏
エコノミスト　第１０２巻　第３３号　通巻４８５０号　2024.11.19

この記事の情報
掲載誌	エコノミスト　第１０２巻　第３３号　通巻４８５０号（2024.11.19）
ページ数	2ページ　（全2432字）
形式	PDFファイル形式　（941kb）
雑誌掲載位置	４８〜４９頁目

　パッケージ基板に回路パターンをレーザー光で直接描画するデジタルリソグラフィー技術が注目されている。　半導体パッケージ基板の進化に伴い、半導体業界では回路パターンを形成する露光技術として「デジタルリソグラフィー技術（ＤＬＴ）」への注目度が高まっている。ＤＬＴとは、基板上に形成する配線の回路パターンをレーザー光で直接描画する技術。回路パターンの形成にフォトマスクを必要としないため、製造コストの削減や…