ニッポンの技術再発見−−第４８回−−ＴＯＴＯ：半導体露光装置に不可欠セラミックエアスライド
週刊東洋経済　第5946号　2005.3.19

この記事の情報
掲載誌	週刊東洋経済　第5946号（2005.3.19）
ページ数	1ページ　（全1647字）
形式	PDFファイル形式　（217kb）
雑誌掲載位置	88頁目

ニッポンの技術再発見第４８回ＴＯＴＯ：半導体露光装置に不可欠セラミックエアスライド開発者　粕川敦彦セラミック製の半導体露光装置用位置決めユニット。半導体ウエハを載せるテーブルと位置決めをするガイドの間に０．４メガパスカル程度の加圧気体を吹き込んでテーブルを浮かせ、スライドさせて誤差５マイクロメートル程度の精密な位置決めをする、非接触型の軸受け。摩擦係数が０．００２未満と、コロガリ軸受けの半分以下。…