ニッポンの技術再発見−−第２４回−−荏原：最古の技術・研磨導入で壁を越えたＣＭＰ装置
週刊東洋経済　第5917号　2004.9.25

この記事の情報
掲載誌	週刊東洋経済　第5917号（2004.9.25）
ページ数	1ページ　（全1578字）
形式	PDFファイル形式　（213kb）
雑誌掲載位置	70頁目

ニッポンの技術再発見第２４回荏原：最古の技術・研磨導入で壁を越えたＣＭＰ装置開発者　辻村　学半導体デバイス開発は微細化追求の歴史だった。その微細化はクリーン＝真空という構図で製造技術が進歩してきたが、９０年代になると、平坦化というテーマが浮上し壁にぶち当たる。それを突破したのが研磨という最古の技術。その技術を１つのシステムの中に取り入れ製品化したのがＣＭＰ装置。　半導体デバイスの開発は微細化技術と…