Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！　Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］
日経マイクロデバイス　第292号　2009.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第292号（2009.10.1）
ページ数	2ページ　（全3413字）
形式	PDFファイル形式　（310kb）
雑誌掲載位置	82〜83ページ目

ＭＥＭＳ技術が与える影響は，デバイスとして新たな応用を生み出すだけではない。独自に発展させてきたＭＥＭＳの製造技術の適用範囲が，他の電子デバイスに広がることで，他分野の技術革新を実現する点にもある。現在の最大の成功例が携帯電話機向けのＣＭＯＳイメージ・センサーであろう。Ｓｉ貫通電極や，ウエーハ・レベルのガラス基板による封止によって小型化を実現する。この１カ月間のニュースでは，こうした技術を使った裏…