Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！　Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］
日経マイクロデバイス　第285号　2009.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第285号（2009.3.1）
ページ数	2ページ　（全3970字）
形式	PDFファイル形式　（295kb）
雑誌掲載位置	90〜91ページ目

３次元積層へのセルフ・アセンブリ技術の適用東北大が成果示す　東北大学大学院　工学研究科　バイオロボティクス専攻　教授の小柳光正氏は，同氏のグループで進めているシステム集積化技術の成果を明らかにした。この技術は，ロジックＬＳＩ，メモリー，ＭＥＭＳデバイス，パワーＩＣなど異種デバイスを３次元積層した「スーパーチップ」を実現するものである。　小柳氏のグループは，スーパーチップのプロセス・コスト低減や歩留…