Ｃｈａｌｌｅｎｇｅｒ 挑戦者〜“非常識”なＭｎとの合金でＦＰＤとＬＳＩのＣｕ配線実現へ
日経マイクロデバイス 第283号 2009.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第283号（2009.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1456字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （187kb） |
| 雑誌掲載位置 | 130ページ目 |
小池 淳一 氏東北大学大学院 教授工学研究科 知能デバイス材料学専攻 これまで半導体や液晶パネルにほとんど使われたことのないＭｎでＣｕ配線を実現する。そのような技術の実用化に挑戦しているのが，東北大学教授の小池淳一氏である。液晶パネル配線にＣｕ−Ｍｎ合金を使う技術を確立した。現在，ＦＰＤ装置メーカーと共同で実用化を目指している。液晶パネルの配線がＡｌからＣｕへ Ｃｕ配線を液晶パネルに適用する研究は…
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