Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜４５０ｍｍ装置開発の加速を狙い推進派が性能の目標値を設定
日経マイクロデバイス　第283号　2009.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第283号（2009.1.1）
ページ数	2ページ　（全2653字）
形式	PDFファイル形式　（296kb）
雑誌掲載位置	98〜99ページ目

　４５０ｍｍウエーハへの移行に向けて，米Ｉｎｔｅｌ　Ｃｏｒｐ．，韓国Ｓａｍｓｕｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｃｏ．，　Ｌｔｄ．，台湾Ｔａｉｗａｎ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｃｏ．，　Ｌｔｄ．（ＴＳＭＣ）の推進派３社が，次の手に打って出た（図１，図２）。４５０ｍｍ化の取り組みを実践する米Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　ＳＥＭＡＴＥＣＨ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｉｎｉｔｉ…