Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！　Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］
日経マイクロデバイス　第283号　2009.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第283号（2009.1.1）
ページ数	2ページ　（全3978字）
形式	PDFファイル形式　（312kb）
雑誌掲載位置	108〜109ページ目

【次世代露光・最前線その３】ダブル・パターニングを巡るＡＳＭＬとニコンのつばぜり合い　次世代の露光技術であるダブル・パターニング用のＡｒＦ液浸露光装置を巡って，オランダＡＳＭＬ社とニコンのつばぜり合いが激しさを増してきた。最近では，ニコン　取締役　兼　専務執行役員　精機カンパニープレジデントの牛田一雄氏が１１月６日の決算発表において，「２００９年後半には，（ＡＳＭＬにとって有利となる）ユーロ安の状…