Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜富士通，独自開発ＣＭＰシミュレータを６５／９０ｎｍの３００ｍｍウエーハ向けに適用
日経マイクロデバイス　第270号　2007.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第270号（2007.12.1）
ページ数	1ページ　（全332字）
形式	PDFファイル形式　（321kb）
雑誌掲載位置	219ページ目

　富士通研究所と富士通（以下，富士通）は，ＬＳＩの配線平坦化工程を模擬するＣＭＰ（ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ）シミュレータを独自に開発した。同シミュレータは，富士通のＬＳＩ製造現場で，３００ｍｍウエーハを使う９０ｎｍと６５ｎｍのＬＳＩの製造用データのチェックや改善する作業に，４月から順次適用している。チェックの結果が思わしくない場合には，ダミー・パターンの挿…