Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜反射型光学系で検出ヘッド部を小型化
日経マイクロデバイス　第269号　2007.11.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第269号（2007.11.1）
ページ数	1ページ　（全504字）
形式	PDFファイル形式　（371kb）
雑誌掲載位置	166ページ目

　検出ヘッド部が，２５ｍｍ×１２．７ｍｍ×８．２ｍｍと小さい絶対位置検出型リニア・エンコーダ（図２）。他社従来品では約１００ｍｍ×約３０ｍｍ×約２０ｍｍだった。リニア・エンコーダは，リニア・モーターなどの変位量を検出する測定器である。検出部の小型化によって，半導体製造装置の省スペース化が可能になる。今回小型化できたのは，反射型光学系の採用と，位置を読み取るために使うスケールに独自パターンを採用した…