Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜膜厚や表面粗さの測定精度を向上
日経マイクロデバイス　第269号　2007.11.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第269号（2007.11.1）
ページ数	1ページ　（全519字）
形式	PDFファイル形式　（371kb）
雑誌掲載位置	166ページ目

　デバイス中の絶縁膜や金属膜，それらの多層膜の特性を高精度に測定できるＸ線反射率解析用ソフトウェア（図１）。製造元のオランダＰＡＮａｌｙｔｉｃａｌ　Ｂ．Ｖ．が販売しているＸ線反射率解析装置に組み込むことで，薄膜の膜厚，密度，表面粗さを，いずれも２〜３％以内のバラつきで測定できる。従来のソフトウェアでは，３〜４層以上の多層膜では，バラつきがこれより１ケタ程度大きかった。今回，Ｘ線反射率から上述の３種…