Ｉｎｓｉｄｅ ＭＥＭＳ〜超小型プロジェクタ，燃料電池などセンサーに続く大量生産ＭＥＭＳが実用へ
日経マイクロデバイス 第269号 2007.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第269号（2007.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 4ページ （全3220字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （716kb） |
| 雑誌掲載位置 | 81〜84ページ目 |
ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスとして急成長中の加速度センサーやＳｉマイク。これらに続く，大量生産デバイスの候補が見えてきた。超小型プロジェクタや燃料電池，ＲＦ（無線周波）スイッチである。いずれも携帯電話機へ搭載されることから，年間に数億個といった規模での大量生産が見込める。低価格化と小型化という携帯電話機メーカーからの強い要求が，Ｓｉをベースと…
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