Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜住友精密がＭＥＭＳ装置事業の強化に乗り出す
日経マイクロデバイス 第268号 2007.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第268号（2007.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全300字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （279kb） |
| 雑誌掲載位置 | 110〜111ページ目 |
住友精密工業がＭＥＭＳ事業の強化に乗り出した。この６月に米国のＭＥＭＳ製造装置メーカーを買収して子会社化したのに続き，ＭＥＭＳ製造装置の英国子会社の全株式を入手する。今回，株式を入手する予定の英国子会社は，Ｓｕｒｆａｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｙｓｔｅｍｓ ｐｌｃ．（ＳＴＳ）。「Ｂｏｓｃｈプロセス」に基づくＳｉ深掘りエッチング装置（ＤＲＩＥ装置）の最大手である。同社は，ロンドンＡＩＭ市場に株式…
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