Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ＭＥＭＳ量産向けに最大４チャンバに〜ＭＥＭＳ量産向けに最大４チャンバに
日経マイクロデバイス 第267号 2007.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第267号（2007.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全544字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （364kb） |
| 雑誌掲載位置 | 134ページ目 |
最大チャンバ数を同社従来品の１から４に増やした深堀り用エッチング装置（図２）。「ＭＳ４２００」の最大チャンバ数は４で，「ＭＳ３２００」は同３である。量産段階へと進むＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅ−ｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイス・メーカーが増えてきたことから，チャンバ数を増やして生産性を高めた。ＭＥＭＳ分野以外でも，パワーＩＣや３次元実装などに関連するメーカーから深堀りエッ…
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