Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ　インタビュー〜ＥＢ技術テコにＡＳＩＣ開発件数を拡大
日経マイクロデバイス　第266号　2007.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第266号（2007.8.1）
ページ数	1ページ　（全2434字）
形式	PDFファイル形式　（359kb）
雑誌掲載位置	192ページ目

「ＥＢ（電子ビーム）技術でＡＳＩＣ開発の間口を広げる」。イー・シャトル代表取締役社長の土川春穂氏はこのような目標を掲げる。同社は富士通とアドバンテストが２００６年１１月に共同で設立したＬＳＩ試作サービス会社。ＥＢ直描によるＬＳＩ試作の相乗りサービス（シャトル・サービス）をこの１０月に開始する。土川氏にＡＳＩＣ開発支援の内容を聞いた。イー・シャトル　代表取締役社長土川　春穂　氏−設立の狙いから伺いま…