Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　排気速度は従来比２倍の１０００リットル／分〜排気速度は従来比２倍の１０００?／分
日経マイクロデバイス　第266号　2007.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第266号（2007.8.1）
ページ数	1ページ　（全477字）
形式	PDFファイル形式　（587kb）
雑誌掲載位置	182ページ目

　同社従来品に比べて排気速度を２倍の１０００リットル／分に高めたドライ・スクロール真空ポンプ（図２）。スクロール型で１０００リットル／分を達成したドライ真空ポンプは初めてという。半導体やディスプレイなどで進む基板の大型化に伴い，製造装置の真空チャンバが大型化しており，排気速度の高いドライ真空ポンプが必要になっていた。今回の製品の到達圧力は１Ｐａ（７．５×１０−３Ｔｏｒｒ）で，到達圧力時の消費電力は…