Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　走査速度を５００倍に向上〜走査速度を５００倍に向上
日経マイクロデバイス　第266号　2007.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第266号（2007.8.1）
ページ数	1ページ　（全521字）
形式	PDFファイル形式　（587kb）
雑誌掲載位置	182ページ目

　プローブ（探針）の走査速度を従来比で５００倍に高めた走査型プローブ顕微鏡（図１）。Ｓｉウエーハやガラス基板，マイクロレンズなどの解析に使える。５１２点×５１２ラインで構成する１フレームを１秒で高速に走査できるようにした。従来は１０分程度かかっていた。走査速度を高めるために，現行の「フレクシャー・スキャナ」と新たに導入した「ラピッド・スキャナ」を組み合わせて走査するデュアル・スキャン方式を採用した…