Tech−On!Ranking[MEMS]〜IBMがウエーハ・レベルでのデバイス移植技術
日経マイクロデバイス 第266号 2007.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第266号(2007.8.1) |
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ページ数 | 1ページ (全232字) |
形式 | PDFファイル形式 (319kb) |
雑誌掲載位置 | 123ページ目 |
スイスIBM Zurich Research Laboratoryは「Transducers’07」で,Siデバイスを別のSiチップにウエーハ・レベルで移植する技術を発表した(論文番号:3EJ10.P)。異種プロセスによる複数のチップを低コストに混載することを狙った。発表した手法は,電子機器の実装工程で,テープ・リールの代わりにSiウエーハから直接チップを供給する手法といえる。今回同社は試作デバ…
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