Ｅｍｅｒｇｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜５ｎｍ精度のアクチュエータ４０ｃｍ／秒で高速駆動
日経マイクロデバイス　第265号　2007.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第265号（2007.7.1）
ページ数	1ページ　（全812字）
形式	PDFファイル形式　（271kb）
雑誌掲載位置	5ページ目

　アクチュエータの静止位置を５ｎｍの精度で制御しつつ，最高速度４０ｃｍ／秒で駆動する。プローブ型顕微鏡に求められる原子レベルの位置決め精度と，大型液晶パネル向け装置に求められる高いスループットを両立するこのような技術を，日立製作所と静岡理工科大学のグループが開発した（図１）。半導体やフラットパネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）分野の製造・検査装置のステージ駆動に使うと，処理速度を高められる。しかも，駆動…