Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜米ＦｒｅｅｓｃａｌｅがＭＥＭＳ方式の３軸加速度センサーを小型化
日経マイクロデバイス 第263号 2007.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第263号（2007.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全324字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （325kb） |
| 雑誌掲載位置 | 105ページ目 |
米Ｆｅｅｓｃａｌｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ， Ｉｎｃ．は，同社従来品から体積を７１％削減した３軸加速度センサー「ＭＭＡ７３６０Ｌ」を発表した。外形寸法は３ｍｍ×５ｍｍ×１ｍｍ。同社の加速度センサーは，ＭＥＭＳ技術で加工した静電容量型のセンサー素子とＡＳＩＣの２チップで構成されている。従来は積層していた２個のチップを，今回の製品では横に並べることで高さを削減した。また，それぞれのチップはプロセ…
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