New Products 欠陥1カ所の修正時間を10秒台に短縮〜欠陥1カ所の修正時間を10秒台に短縮
日経マイクロデバイス 第262号 2007.4.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第262号(2007.4.1) |
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ページ数 | 1ページ (全528字) |
形式 | PDFファイル形式 (693kb) |
雑誌掲載位置 | 142ページ目 |
欠陥1カ所当たりの修正時間を従来の1分弱から10秒台に短縮した液晶パネル向けカラー・フィルタ修正装置(図3)。ドライ・フィルムを欠陥部に熱転写することによって修正する。今回の装置では,修正に必要な時間を短縮するために,ドライ・フィルムの供給部と熱転写ヘッド用のヒーター・ユニットを一つのカートリッジに集積化した。これにより,ドライ・フィルムを熱転写ヘッドの位置まで供給するための時間を短縮できた。さ…
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