Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜ａ−Ｓｉ　ＴＦＴ液晶工場で回路内蔵型パネルを生産日立がｐ−Ｓｉ新製造技術を開発
日経マイクロデバイス　第261号　2007.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第261号（2007.3.1）
ページ数	1ページ　（全358字）
形式	PDFファイル形式　（950kb）
雑誌掲載位置	95ページ目

　　既存のアモルファスＳｉ（ａ−Ｓｉ）ＴＦＴ生産ラインに巨額の追加投資をせずに，狭額縁化に向いた低温多結晶Ｓｉ（ｐ−Ｓｉ）による回路内蔵型ＴＦＴ液晶パネルの生産能力を引き上げることができる新しい製造技術を，日立ディスプレイと日立製作所研究開発本部が共同で開発した。ａ−Ｓｉ膜を形成後，その一部を低温で多結晶化する技術である。技術開発のポイントは，（１）ａ−Ｓｉを直接ｐ−Ｓｉにする結晶化技術，（２）ソ…