Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜オリンパスの走査型共焦点レーザー顕微鏡
日経マイクロデバイス 第260号 2007.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第260号（2007.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全270字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （321kb） |
| 雑誌掲載位置 | 93ページ目 |
オリンパスは，同社従来機種に比べて３次元画像の取得を容易にした走査型共焦点レーザー顕微鏡「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」を１月２５日に発売する。「３Ｄ取込ボタン」を押すだけで，自動的に試料の高さを計測するとともに，明るさやコントラストなども自動で補正する機能を備えた。作業者の負荷軽減と作業者による測定誤差を減らすことができるとする。半導体や先端素材，ＭＥＭＳなどの微細な表面形状を３次元画像で観察する…
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