Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜米ＳＭＩが１５０ｍｍラインで圧力センサーを量産
日経マイクロデバイス 第260号 2007.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第260号（2007.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全256字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （321kb） |
| 雑誌掲載位置 | 93ページ目 |
Ｓｉ圧力センサーの設計と製造を行う米Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ， Ｉｎｃ．（ＳＭＩ）は，最近導入した１５０ｍｍウエーハのＭＥＭＳ製造ラインにおいて生産量が４万個／日を超えたと発表した。この１５０ｍｍウエーハ・ラインへのアップグレードとその能力向上は，生産に影響を与えることなく完了した。この生産ラインは，より大きなウエーハへの対応が可能なだけでなく，性能および信頼性を高めるため…
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