Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ベベル洗浄技術を搭載したウエーハ洗浄装置 大日本スクリーン製造が発売
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全404字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （255kb） |
| 雑誌掲載位置 | 104ページ目 |
大日本スクリーン製造は，ウエーハのベベル部を純水で高速に洗浄できるモジュールを搭載した枚葉式ウエーハ洗浄装置「ＳＳ−３０００ＢＣ」を２００６年１０月に発売する。純水を使ったベベル洗浄モジュールを搭載した装置は「業界初」（同社）とする。ベベル洗浄に特化したモジュールを開発し，同社の枚葉式ウエーハ洗浄装置に組み込めるようにした。今回のベベル洗浄技術は，従来の方法で必要としていたスラリーや薬液が不要な…
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