Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ　インタビュー〜装置間連携を強みに競合引き離す
日経マイクロデバイス　第257号　2006.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第257号（2006.11.1）
ページ数	2ページ　（全2850字）
形式	PDFファイル形式　（255kb）
雑誌掲載位置	192〜193ページ目

米Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，　Ｉｎｃ．（ＡＭＡＴ）が，複数の装置間の連携によってプロセス制御性を高めるＡＰＣ（ａｄｖａｎｃｅｄ　ｐｒｏｃｅｓｓ　ｃｏｎｔｒｏｌ）の強化に動き始めた。塗布・現像装置や検査装置の事業に参入し，露光装置や成膜装置と連携させて競合を引き離しにかかる。同社日本法人の代表取締役社長に就任した渡辺徹氏に，その取り組みについて聞いた。アプライド　マテリアルズ　ジャパン　代…