Ｗａｔｃｈｅｒ［Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ］ ウォッチャ〜フレキシブル基板ベースに バイオ・センサーを開発
日経マイクロデバイス 第257号 2006.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第257号（2006.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全627字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （134kb） |
| 雑誌掲載位置 | 186ページ目 |
スイスの高密度プリント基板メーカーのＤＹＣＯＮＥＸ ＡＧは，「ＤＹＣＯｓｔｒａｔｅ」と呼ぶプラズマ・エッチング技術を１９９２年に開発して以来，この技術をさまざまな多層高密度基板やフレキシブル基板の製造に適用してきた。 最近同社は，このプラズマ・エッチング技術を発展させて，「Ｍｉｃｒｏ Ｆｌｕｉｄｉｃ Ｓｙｓｔｅｍｓ」と呼ぶ，センサー機能をもつ多層フレキシブル基板技術を開発した。この技術では，プラ…
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