Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜産総研，Ｓｉチップに搭載可能な 測定レンジの広いＨ２漏れ検知センサーを開発
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全305字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （270kb） |
| 雑誌掲載位置 | 104ページ目 |
産業技術総合研究所（産総研）は，Ｓｉチップに搭載可能なマイクロ熱電式Ｈ２センサーを開発した。測定レンジが０．５ｐｐｍ〜５％と広く，Ｈ２ステーションなどの施設で漏れ検知に使える。今後は，センサーの試作品を関連機関に提供し，Ｈ２関連施設での実用化を目指す。このセンサーは，セラミックス担持Ｐｔ触媒を熱電変換ＭＥＭＳデバイスの上にパターン形成したもの。従来のセンサーに比べてＰｔ触媒の性能を引き出せるため…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全305字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「世界最小」を更新 日立金属が２．９ｍｍ角の ３軸加速度センサーを発表
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜連載「ＭＥＭＳ ｏｎ ＭＯＴ」（２３） 大企業はなぜＭＥＭＳで失敗するのか 成功する組織体制とは
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜３軸加速度センサー 日立金属が生産能力を拡大へ
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「第１７回マイクロマシン展」の概要を発表 規模拡大に伴い会場も引っ越し
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜連載「ＭＥＭＳ ｏｎ ＭＯＴ」（２４） 知財の価値は応用側へ，ＭＥＭＳの対応は？
