Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「世界最小」を更新 日立金属が２．９ｍｍ角の ３軸加速度センサーを発表
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全426字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （270kb） |
| 雑誌掲載位置 | 104ページ目 |
日立金属は，外形寸法が２．９ｍｍ×２．９ｍｍ×０．９２ｍｍで，体積７．７ｍｍ３の３軸加速度センサー「Ｈ３０ＣＤ」を発表した。３軸加速度センサーとしては世界最小を更新したという。この製品はピエゾ抵抗を使ったＭＥＭＳセンサーである。１０ピン，ＬＯＣ（ｌｅａｄ ｏｎ ｃｈｉｐ）パッケージを採用し，デジタル出力で分解能１２ビットのＩ２Ｃ（ｉｎｔｅｒ−ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）インタフェースを…
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