Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜連載「ＭＥＭＳ ｏｎ ＭＯＴ」（２１） 材料メーカーはＭＥＭＳとどう向き合うべきか
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号（2006.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全370字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （261kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
「ＭＥＭＳ」の最初の「Ｍ」は「マイクロ」，２番目の「Ｍ」は「メカニカル」の頭文字である。しかし，２番目のＭを「マテ リアル」，すなわち材料技術として捉えることも一考に値する。ＭＥＭＳのプロセス技術の完成度が高くなって各種メカニカル手法の使い勝手もよくなって…
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