Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜Ｘ線放射を実現させるＭＥＭＳ素子 直径１．２ｍの加速器を使用
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号（2006.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全340字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （261kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
直径１．２ｍと小型の加速器を使ってＸ線放射を可能にする素子を，京都大学がＭＥＭＳ技術で開発した（「ＡＰＣＯＴ２００６」，論文番号：９５−ＯＭＮ−Ａ０５９３）。ＭＥＭＳによる多層Ａｌ薄膜に加速した電子を通過させ，その際に放出される光子を共鳴させて高エネルギー化しＸ線として出力する。このＸ線は比較的波長の長い「ソフトＸ線」であり，Ｘ線露光装置などに利用できる。今回，京都大学は遷移放射光を利用した。こ…
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