Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜電子ビームのマルチ露光 ダイヤモンドとＭＥＭＳで実現
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号（2006.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全341字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （261kb） |
| 雑誌掲載位置 | 108ページ目 |
東北大学は，ＥＢ（電子ビーム）露光装置に向けたアレイ状の電子銃を開発した（「ＡＰＣＯＴ２００６」，論文番号：９５−ＮＤＮＴ−Ａ０２６９）。ＭＥＭＳ技術で電子銃と集束用レンズを一体化するとともに，これらをアレイ状に多数配列している。一体化により電子放出部分の構造を小型にでき，アレイ化により露光時のスループットを高められる。線幅が数ｎｍといった将来の半導体露光装置向けの実用化を同大学は目指している。…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全341字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳによるマイクロ原子力電池 人体に悪影響なく，半減期が長い 体内への埋め込み狙う
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜特許侵害提訴で ワコーの加速度センサー特許 特許庁が無効審決
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＮＴＴドコモがＭＥＭＳスイッチ使った 可変ＲＦ増幅器を改良
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜仏Ａｌｃａｔｅｌが深掘りエッチャで ＭＥＭＳ量産市場を開拓へ
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜Ｘ線放射を実現させるＭＥＭＳ素子 直径１．２ｍの加速器を使用
