Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜日立ハイテク，第９世代も見据えた 液晶パネル製造装置の新工場棟を建設
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号（2006.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全332字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （248kb） |
| 雑誌掲載位置 | 107ページ目 |
日立ハイテクノロジーズは，液晶パネル製造装置の大型化，需要増に対応するため，埼玉県児玉郡上里町の埼玉事業所に新工場棟「新Ｃ棟」を建設する。建設着工は２００６年８月，竣工は２００７年３月の予定で，総投資額は約２５億円となる。幅６０ｍ，奥行き７２ｍ，天井高さ７ｍのクリーン・ルームを備え，第６〜第８世代に対応した露光装置を生産し，「将来の第９世代に対応した装置の生産も可能」（同社）とする。同社のもう一…
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