ＭＥＭＳ Ｇｌｏｂａｌ Ｖｉｅｗ ウォッチャ〜ＭＥＭＳウエーハ，２０１０年に４億米ドル超
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号（2006.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1516字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （117kb） |
| 雑誌掲載位置 | 165ページ目 |
ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）の基板材料には，Ｓｉ，水晶，ガラス，高分子などが使われる。このうち最も多く使用されるＳｉ基板（ウエーハ）の市場規模は，ＭＥＭＳ向けのみで２００５年に約２億２０００万米ドルだった。これが，２０１０年には４億７５００万米ドルに達すると，われわれは予測している。 この市場は，２００２年に大きく変化した。それまでは，１００ｍｍウ…
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