Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　スループットを２０％向上〜スループットを２０％向上　ウエーハ真空搬送装置「ＵＬＳＴＡ−３００」
日経マイクロデバイス　第254号　2006.8.1

　チャンバのウエーハ交換時間を同社従来品に比べて２０％短縮したウエーハ真空搬送装置（図２）。複数のチャンバで連続してプロセスを行うクラスタ・ツールでのウエーハ交換に使える。今回，独立に動かせる２本のアームを使い，処理済みウエーハの搬出後すぐに新しいウエーハを搬入できるようにした。これによって，交換時間を従来の１５秒から１２秒に短縮した。従来は，２本のアームが逆向きに固定されており独立に動かせなかっ…