Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ３ 大化け狙う携帯電話機デバイス，先行企業の〜ＲＦ ＭＥＭＳスイッチを量産レベルに ２００７年に携帯電話機に搭載へ
日経マイクロデバイス 第254号 2006.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第254号（2006.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全7289字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （477kb） |
| 雑誌掲載位置 | 43〜48ページ目 |
Ｊｏｈｎ ＭｃＫｉｌｌｏｐ， Ｐｈ．Ｄ．米ＴｅｒａＶｉｃｔａ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ．ＣＴＯ小泉 善裕リチャードソンエレクトロニクスアジア太平洋地区担当部長 これまで学会発表にとどまっていたＲＦ（無線周波）ＭＥＭＳスイッチの実用化に成功した。解決が難しかった信頼性向上と低コスト化の課題をアクチュエータ技術やパッケージング技術によって乗り越えた（図１）。 まずは，ＬＳＩテスターなどの計測…
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