Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜「４５０ｍｍウエーハ対応が視野に」　大日本スクリーン製造が洗浄装置新工場
日経マイクロデバイス　第253号　2006.7.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第253号（2006.7.1）
ページ数	1ページ　（全323字）
形式	PDFファイル形式　（271kb）
雑誌掲載位置	95ページ目

　Ｓｉウエーハ洗浄装置大手の大日本スクリーン製造は，洗浄装置の新工場「Ｆａｂ．ＦＣ−２」を２００６年１１月に稼働させる。既に，滋賀県にある同社の彦根地区事業所の敷地内に着工している。３００ｍｍウエーハ対応装置のほか，次世代の４５０ｍｍウエーハ対応装置の製造設備を備える計画である。新工場の建設は，「大手デバイス・メーカーの持続的な投資に対応するもの」（同社）。新工場の稼働により，同じ敷地内にある「Ｆ…