Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 検査時間を１／１５に短縮〜検査時間を１／１５に短縮
日経マイクロデバイス 第251号 2006.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第251号（2006.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全516字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （139kb） |
| 雑誌掲載位置 | 117ページ目 |
液晶パネルのガラス基板上に形成したポリイミド配向膜の配向の良否を，従来の１／１５の時間で高速検査する装置（図２）。配向膜面からの偏光を解析し，配向膜の配向方位，傾斜角，配向の度合いを測定する。高速で検査できるため，量産ラインの歩留まり改善や早期立ち上げを目的とした全数検査に使える。従来は，配向異方性を測定するために全方向から配向膜に光を照射し，データを取得する必要があったため，測定に時間がかかっ…
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