Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳディスプレイ市場を読む（２） 光ＭＥＭＳ製品は応用ごとにロードマップ
日経マイクロデバイス 第251号 2006.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第251号（2006.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全248字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （126kb） |
| 雑誌掲載位置 | 87ページ目 |
プロジェクタ向け「ＤＭＤ（ｄｉｇｉｔａｌ ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ ｄｅｖｉｃｅ）」は，光ＭＥＭＳの代表的な成功例として，その市場を大きく拡大している。光ＭＥＭＳ製品には，応用ごとに実用化のロードマップがある。マスクレス・リソグラフィは，マイクロミラーのアレイを使用した注目すべき技術であり，プロトタイプやＡＳＩＣの少量生産において低コストを実現できるというメリットがある。そして，その概念の実証が現…
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