Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳ製造の基盤技術を開発 新・国プロが２００６年度スタート
日経マイクロデバイス 第251号 2006.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第251号（2006.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全405字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （126kb） |
| 雑誌掲載位置 | 86〜87ページ目 |
ＭＥＭＳ製造の基盤技術確立を狙った国家プロジェクト「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト」が２００６年４月に始まる。ＭＥＭＳデバイスを高機能化・高集積化・低コスト化するうえで，２０１０〜２０１５年頃に必要となる製造基礎技術に対して，研究費の半額を助成する。対象となる技術は，大きく３種類ある。第１は，ナノテクや新材料技術をＭＥＭＳに適用して，信頼性や機能を向上させるための技術である。第２は…
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